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上海半导体制程排气

上海半导体制程排气


    半导体产业在制造过程中,无可避免地必须使用不同种类的化学物质,为了提高产品的良率,必须精密控制产品所接触环境的空气质量。而制程排气系统(Exhaust System),虽非制程生产所需设备,但却是为生产区域营造一个可供生产人员在安全情况下的工作环境,因此制程排气系统,从废气物质兼容性至排放气体输送,以至于各种污染处理设备,皆需经严格且缜密选择,这些均是环环相扣缺一不可。
半导体工业,虽已有四十年的发展,却是在近十年内快速发展,成长之速非常惊人,且电子产品已成为人们生活中不可缺少的必需品,各个先进国家无不努力于研究发展,以期在工业能力及市场占有方面能取得优势。但在半导体制程生产既可符合制程生产需求,又能兼顾工业安全,同时更可为环保尽一份心力时,所排放之废气,除了对人体会有安全性之威胁外,更会造成环保空气污染。有鉴于此,在投入半导体工业建厂的同时,希望能对制程排气处理原理,环保相关法规甚至各个系统处理所使用的管材,做全面的了解。